高感度炎センサの実現に向けた酸化ガリウム結晶薄膜の作製

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DOI[info:doi/]
本文言語
日本語
区分
和歌山大学
掲載誌名
和歌山大学災害科学教育研究センター研究報告
ISSN
2432762X
NCID
AA12781991
2
並び順
08
開始ページ
55
終了ページ
56
発行日
2018-03-01
標題(和)
高感度炎センサの実現に向けた酸化ガリウム結晶薄膜の作製
標題(ヨミ)
標題(欧)
GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS
作成者
著者 宇野 和行
チョシャ ウノ カズユキ
Author UNO Kazuyuki
所属 和歌山大学システム工学部
Affiliate Faculty of Systems Engineering, Wakayama University
キーワード(和)
炎センサ
紫外線検出
酸化ガリウム
ミストCVD法
資料タイプ
紀要論文
抄録(和)

炎は,成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している.この光を高感度に検出すれば,昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる.紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある.酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため,光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる.センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが,今回,独自の原料を用い,α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である,ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した.

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出版者版
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