Preparation of TiO_2 thin film by spray pyrolysis method using Ti(C_5H_7O_2)_2 solution

本研究は、薄膜の実用的であるコーティング法の中でも最もシンプルなスプレー法を用いて、テタニル(IV)アセチルアセトナート[Ti(C_5H_7O_2)_2]を溶媒としたTiO_2薄膜の作成を試みた。作成したTiO_2薄膜の物性及び光触媒効果の評価を行った。薄膜厚さ、制膜速度、制膜温度をパラメータとして、6種類の薄膜を作成した。最も光触媒効果を持つTiO_2薄膜を効率的に作る条件について実験、考察を重ねた。作成した薄膜について、透過率測定、x線回折測定を行い、物性評価した。結果は、スバッタリング法や化学蒸着法のような高度な装置を用いた場合と変わらないほどの薄膜の作り方法を確立した。

TiO_2 thin films were prepared by cost-effective spray pyrolysis method. The solution containing Ti(C_5H_7O_2)_2 as a titanium source, ethanol was deposited onto glass at substrate temperatures of 400-450℃ using pulsed spray solution method. Six kinds of thin films were made. Physical properties of the TiO_2 thin films and the effect of the photocatalyst were evaluated using x-ray diffraction and transmission measurement.