ID 3379
FullText File
Title Alternative
GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS
Authors
DOI
Journal Title
Research reports of the Center for Education and Research of Disaster Science, Wakayama University
ISSN
2432762X
NCID
AA12781991
Volume
2
Start Page
55
End Page
56
Published Date
2018-03-01
Language
jpn
Keywords
炎センサ
紫外線検出
酸化ガリウム
ミストCVD法
Abstract
炎は,成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している.この光を高感度に検出すれば,昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる.紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある.酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため,光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる.センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが,今回,独自の原料を用い,α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である,ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した.
Content Type
Departmental Bulletin Paper
Text Version
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