高感度炎センサの実現に向けた酸化ガリウム結晶薄膜の作製
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| ID | 3379 |
| フルテキストファイル | |
| その他のタイトル（欧） | GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS
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| 作成者 | |
| DOI[info:doi/] | |
| 掲載誌名 |
和歌山大学災害科学教育研究センター研究報告
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| ISSN | 2432762X
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| NCID | AA12781991
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| 巻 | 2
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| 開始ページ | 55
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| 終了ページ | 56
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| 並び順 | 08
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| 発行日 | 2018-03-01
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| 本文言語 |
日本語
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| キーワード(和) | 炎センサ
紫外線検出
酸化ガリウム
ミストCVD法
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| 抄録(和) | 炎は，成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している．この光を高感度に検出すれば，昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる．紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある．酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため，光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる．センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが，今回，独自の原料を用い，α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である，ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した．
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| 資料タイプ |
紀要論文
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| 著者版フラグ |
出版者版
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