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Only oneを創る : 和歌山大学オンリー・ワン創成プロジェクト報告書 2008
2008-01-01 発行
Study on excitonic processes for developing nano-scale material processing and revealing novel properties
励起ナノプロセッシングによる物質機能の開拓
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jpn
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Abstract
この研究は効率よくナノ構造を作製、制御する方法として、光、X線あるいはプラズマなどの量子ビームを用いた励起ナノプロセスの確立と、これを用いた物質機能の開拓を行うことを目的とした。特に、(1)X線照射による単層カーボンナノチューブ（SWNT）の構造改変について実験的、理論的研究、(2)パルス変調型電子ビーム励起プラズマ（EBEP）を用いた材料プロセスの研究を行った。この結果、(1)X線照射によりSWNTに欠陥が導入されること、欠陥の導入により構造変化が誘起されることを明らかにした(2) パルス変調型EBEPにより、SiO2の高速異方性エッチングが実現できた。
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