高感度炎センサの実現に向けた酸化ガリウム結晶薄膜の作製
Permalink : https://repository.center.wakayama-u.ac.jp/3379
| ID | 3379 |
| FullText File | |
| Title Alternative | GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS
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| Authors | |
| Self DOI | |
| Journal Title |
Research reports of the Center for Education and Research of Disaster Science, Wakayama University
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| ISSN | 2432762X
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| NCID | AA12781991
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| Volume | 2
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| Start Page | 55
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| End Page | 56
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| Order | 08
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| Published Date | 2018-03-01
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| Language |
jpn
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| Keywords | 炎センサ
紫外線検出
酸化ガリウム
ミストCVD法
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| Abstract | 炎は，成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している．この光を高感度に検出すれば，昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる．紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある．酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため，光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる．センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが，今回，独自の原料を用い，α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である，ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した．
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| Content Type |
Departmental Bulletin Paper
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| Text Version |
publisher
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