ID | 3379 |
フルテキストファイル | |
その他のタイトル(欧) | GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS
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作成者 | |
Self DOI [info:doi/] | |
掲載誌名 |
和歌山大学災害科学教育研究センター研究報告
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ISSN | 2432762X
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NCID | AA12781991
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巻 | 2
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開始ページ | 55
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終了ページ | 56
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並び順 | 08
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発行日 | 2018-03-01
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本文言語 |
日本語
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キーワード(和) | 炎センサ
紫外線検出
酸化ガリウム
ミストCVD法
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抄録(和) | 炎は,成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している.この光を高感度に検出すれば,昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる.紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある.酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため,光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる.センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが,今回,独自の原料を用い,α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である,ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した.
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資料タイプ |
紀要論文
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著者版フラグ |
出版者版
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