励起ナノプロセッシングによる物質機能の開拓
Permalink : https://repository.center.wakayama-u.ac.jp/2942
| ID | 2942 |
| FullText File | |
| Title Alternative | Study on excitonic processes for developing nano-scale material processing and revealing novel properties
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| Authors |
篠塚 雄三
伊藤 昌文
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| Self DOI | |
| Journal Title |
Only oneを創る : 和歌山大学オンリー・ワン創成プロジェクト報告書
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| Publisher | 和歌山大学
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| NCID | BB24701339
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| Volume | 2008
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| Start Page | 25
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| End Page | 47
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| Order | 06
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| Published Date | 2008-01-01
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| Language |
jpn
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| Abstract | この研究は効率よくナノ構造を作製、制御する方法として、光、X線あるいはプラズマなどの量子ビームを用いた励起ナノプロセスの確立と、これを用いた物質機能の開拓を行うことを目的とした。特に、(1)X線照射による単層カーボンナノチューブ（SWNT）の構造改変について実験的、理論的研究、(2)パルス変調型電子ビーム励起プラズマ（EBEP）を用いた材料プロセスの研究を行った。この結果、(1)X線照射によりSWNTに欠陥が導入されること、欠陥の導入により構造変化が誘起されることを明らかにした(2) パルス変調型EBEPにより、SiO2の高速異方性エッチングが実現できた。
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| Content Type |
Research Paper
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| Text Version |
publisher
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