励起ナノプロセッシングによる物質機能の開拓

この研究は効率よくナノ構造を作製、制御する方法として、光、X線あるいはプラズマなどの量子ビームを用いた励起ナノプロセスの確立と、これを用いた物質機能の開拓を行うことを目的とした。特に、(1)X線照射による単層カーボンナノチューブ（SWNT）の構造改変について実験的、理論的研究、(2)パルス変調型電子ビーム励起プラズマ（EBEP）を用いた材料プロセスの研究を行った。この結果、(1)X線照射によりSWNTに欠陥が導入されること、欠陥の導入により構造変化が誘起されることを明らかにした(2) パルス変調型EBEPにより、SiO2の高速異方性エッチングが実現できた。