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Research reports of the Center for Education and Research of Disaster Science, Wakayama University 2
2018-03-01 発行
GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS
高感度炎センサの実現に向けた酸化ガリウム結晶薄膜の作製
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Language
jpn
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Keywords
炎センサ
紫外線検出
酸化ガリウム
ミストCVD法
Abstract
炎は，成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している．この光を高感度に検出すれば，昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる．紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある．酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため，光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる．センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが，今回，独自の原料を用い，α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である，ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した．
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PP. 29 - 34